中型设备

STN-10FD30 设备简介(Download, PDF, 36K)

真空腔体内部尺寸	直径：1000~1250mm；高：1250mm~1500mm
真空抽气机组	2X-30型旋片泵，抽速30L/s，1台
	2X-70型旋片泵，抽速70L/s，1台
	ZJ-300型罗茨泵，抽速300L/s
	K600-T型扩散泵，抽速17000L/s
设备控制系统	PLC + 触摸屏 或者 PLC + 工业PC
离化源	电弧离化源，数目：10~14个
偏压电源	功率：15kW~30kW，电压：0~1000V,连续可调
系统周边配套设施	冷却塔，烘箱，天车，气瓶(盛装工艺气体)等

 

这套镀膜系统是专门为对大件产品进行高生产率的装饰性镀膜而设计的。这套设备的真空腔体单元采用的是圆柱形的设计，真空腔体的门在前方，为前开门的形式；真空腔体共具有12或14套阴极电弧离子源。
高性能的电弧型离化源技术为获得极高的离化率提供了保证，同时配以精心设计的偏压电源和真空系统，得到稳定、光滑、良好附着力以及坚硬的离子镀膜层不再困难。
为了得到金色的膜层，我们将提供钛靶材和锆靶材以及氮化钛和氮化锆的镀膜工艺。
先进的电弧控制系统，由电弧监测，控制和再次引弧系统构成。可以在毫秒时间做出反应。并再次引弧。对保证膜层光滑有非常重要的作用。
腔体，真空系统，流量控制，加热单元，等均采用一流元件装配和制造，保证整机拥有一流的可靠性。
技术规格
型号	STN-10D		STN-10FD30
真空腔体	φ1000mm*H1500mm		φ1250*H1500mm
真空泵组
粗抽泵	油封旋片泵 抽速70L/s
罗茨泵	罗茨泵 抽速300L/s
扩散泵	扩散泵 抽速12500L/s
维持泵	油封旋片泵 抽速30L/s
系统控制	PLC 触摸屏控制
弧源	10 套		14 套 (可选)
弧源电源	最大 160A
偏压电源	30KW,0-1000V
工艺气路
500sccm	2 套
1000sccm	2 套
加热系统	0-18KW , PID 控制
电源	380V 三相四线
转架
传动系统	6*4轴,自转,公转
传动控制	0-18rpm (可变)
冷却水系统	PL-05 (可选)		PL-08 (可选)
烘烤箱	8KW,800*800*1000mm (可选)