实验用设备

STN-500A 设备简介(Download, PDF, 35K)

真空腔体内部尺寸	ф400×H400mm；ф500×H500mm等
真空抽气机组	维持泵：2X-15型旋片泵，抽速15L/s，1台
	扩散泵：K200-T型扩散泵，抽速2000L/s
设备控制系统	PLC 或者 PLC + 触摸屏C
离化源	电弧离化源，数目：1~2个
偏压电源	功率5kW~10kW，电压：0~1000V,连续可调
系统周边配套设施	冷却塔，烘箱，天车，气瓶(盛装工艺气体)等

 

STN-500A型设备是专门为小件产品的工具以及装饰性镀膜而设计的。
STN-500A型镀膜系统能够稳定的涂覆小型工件。这套设备运行周期短，能适应为不同品种、多样化、小量产品加工。
STN-500AT型设备是专门为小件产品的工具镀膜而设计的。
STN-500AT型镀膜系统能够稳定的涂覆小型工件。这套设备运行周期短，能适应为不同品种、多样化、小量产品加工。
技术规格
型号	STN-500A		STN-500AT
腔体	φ500mm*H500mm		φ5500*H600mm
真空泵组
维持泵	油封旋片泵 抽速30L/s
扩散泵	油扩散泵 抽速2000L/s *A
系统控制	PLC 控制
弧源	2 套		3 套 (可选)
弧源电源	最大 160A
偏压功率	15KW,0-600V
工艺气路
500sccm	3 套		2 套
1000sccm	-		1 套
加热系统	0-6KW , PID 控制
电源	380V, 三相四线
转盘
传动系统	3 轴,公转,自转
传动控制	0-18rpm (可调)
冷却水系统	PL-05 (可选)
烘烤箱	8KW,800*800*1000mm (可选)
*A: STN-500A 也可选择分子泵，抽速为 600 L /s; STN-500AT 可选涡轮分子泵，抽速为1500 L /s