小型设备

STN-4B6 设备简介(Download, PDF, 36K)

真空腔体内部尺寸	ф800×H1000mm；ф800×H800mm；ф600×H800mm；ф600×H600mm 等
真空抽气机组	维持泵：2X-15型旋片泵，抽速15L/s，1台
	旋片泵：2X-30型旋片泵，抽速30L/s,1台
	罗茨泵：ZJ-150型罗茨泵，抽速150L/s
	扩散泵：K400-T型扩散泵，抽速7800L/s
设备控制系统	PLC 或者 PLC + 触摸屏C
离化源	电弧离化源，数目：4~8个
偏压电源	功率：10kW~20kW，电压：0~1000V,连续可调
系统周边配套设施	冷却塔，烘箱，天车，气瓶(盛装工艺气体）等

 

这套镀膜系统是专门为对中小件产品进行高生产率的功能性镀膜而设计的。这套设备的真空腔体单元采用的是圆柱形的设计，真空腔体的门在前方，为前开门的形式；真空腔体共具有6套阴极电弧离子源。
抽真空机组使用随同设备一起提供的PLC进行控制。真空系统的所有必要的信息都会显示在一个彩色PLC触摸屏上。
技术规格
型号	STN-4B6
真空腔体	φ800mm*H800mm
真空泵组
粗抽泵	油封旋片泵 抽速30L/s
罗茨泵	罗茨泵 抽速300L/s
扩散泵	扩散泵 抽速7800L/s
维持泵	油封旋片泵 抽速15L/s
系统控制	PLC 触摸屏控制
弧源	6 套
弧源电源	最大 160A
偏压电源	30KW,0-1000V
工艺气路
500sccm	2 套
1000sccm	2 套
加热系统	0-12KW , PID 控制
电源	380V 三相四线
转架
传动系统	6*4轴,自转,公转
传动控制	0-18rpm (可调)
冷却水系统	PL-08 (可选)
烘烤箱	8KW,800*800*1000mm (可选)