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STN-20D30 镀膜设备简介(Download, PDF, 81K)

真空腔体内部尺寸	直径：1500~1800mm,高：2000mm~3500mm
真空抽气机组	维持泵：2X-30型旋片泵，抽速30L/s，1~2台
	2X-70型旋片泵，抽速70L/s,2~4台
	ZJ-600型罗茨泵，抽速600L/s
	K800-TD型扩散泵，抽速22000L/s
设备控制系统	PLC + 触摸屏 或者 PLC + 工业PC
离化源	电弧离化源，数目：16~26个
偏压电源	功率：30kW~45kW，电压：0~1000V,连续可调
系统周边配套设施	冷却塔，烘箱，天车，气瓶(盛装工艺气体)等

 

STN-20D30型设备的装载能力更大，它是专门为大件产品的装饰性镀膜而设计的。
对于大体积工件，STN-20D30型设备的生产能力非常卓越。这套设备是专门为那些需要很大的镀膜空间、很大的装载能力、较低的镀膜温度以及较短的镀膜时间的应用场合而开发的。这些因素使得这套设备特别适合加工装饰性产品。
这套设备的真空腔体单元采用的是圆柱形的设计，真空腔体的门在上方，为上开门的形式；真空腔体共具有26套阴极电弧离子源。
技术规格
型号	STN-20FD30
真空腔体	φ1800mm*H3500mm
真空泵组
粗抽泵	油封旋片泵 抽速70L/s (4 套)
罗茨泵	罗茨泵 抽速300L/s (2 套)
扩散泵	扩散泵 抽速22500L/s (2 套)
维持泵	油封旋片泵 抽速30L/s (2 套)
系统控制	PLC 触摸屏控制 以及 PC 控制
弧源	26 套
弧源电源	最大 160A
偏压电源	180KW,0-1000V
工艺气路
500sccm	2 套
1000sccm	2 套
加热系统	0-24KW , PID 控制
电源	380V 三相四线
转架
传动系统	6*4轴,自转,公转
传动控制	0-18rpm (可变)
冷却水系统	PL-08 (可选)
烘烤箱	8KW,800*800*1000mm (可选)