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大型设备

STN-20D30 镀膜设备简介(Download, PDF, 81K)

真空腔体内部尺寸

直径:1500~1800mm,高:2000mm~3500mm

真空抽气机组

维持泵:2X-30型旋片泵,抽速30L/s,1~2台

2X-70型旋片泵,抽速70L/s,2~4台

ZJ-600型罗茨泵,抽速600L/s

K800-TD型扩散泵,抽速22000L/s

设备控制系统

PLC + 触摸屏 或者 PLC + 工业PC

离化源

电弧离化源,数目:16~26个

偏压电源

功率:30kW~45kW,电压:0~1000V,连续可调

系统周边配套设施

冷却塔,烘箱,天车,气瓶(盛装工艺气体)等

 

STN-20D30型设备的装载能力更大,它是专门为大件产品的装饰性镀膜而设计的。
对于大体积工件,STN-20D30型设备的生产能力非常卓越。这套设备是专门为那些需要很大的镀膜空间、很大的装载能力、较低的镀膜温度以及较短的镀膜时间的应用场合而开发的。这些因素使得这套设备特别适合加工装饰性产品。
这套设备的真空腔体单元采用的是圆柱形的设计,真空腔体的门在上方,为上开门的形式;真空腔体共具有26套阴极电弧离子源。
技术规格
型号
STN-20FD30
真空腔体
φ1800mm*H3500mm
真空泵组
 
粗抽泵
油封旋片泵 抽速70L/s (4 套)
罗茨泵
罗茨泵 抽速300L/s (2 套)
扩散泵
扩散泵 抽速22500L/s (2 套)
维持泵
油封旋片泵 抽速30L/s (2 套)
系统控制
PLC 触摸屏控制 以及 PC 控制
弧源
26 套
弧源电源
最大 160A
偏压电源
180KW,0-1000V
工艺气路
 
500sccm
2 套
1000sccm
2 套
加热系统
0-24KW , PID 控制
电源
380V 三相四线
转架
 
传动系统
6*4轴,自转,公转
传动控制
0-18rpm (可变)
冷却水系统
PL-08 (可选)
烘烤箱
8KW,800*800*1000mm (可选)

 

 

 

 

 

 

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